一种氯硅烷残液生产HCl气体的方法201510467054.3 (国内发明授权)
一种含超细硅粉废水的处理方法及装置201510034498.8 (国内发明授权)
一种利用氯硅烷残液制取气相氯化氢的装置201621280824.X (国内实用授权)
一种水解氯硅烷残液回收Si的装置201621242206.6 (国内实用授权)
一种同时处理含氯硅烷的残液和废气的装置201620908947.7国内实用(授权)
一种含盐酸或氯盐的二氧化硅的处理装置201620908951.3 (国内实用授权)
一种氯硅烷残液生产氯化氢气体的装置201620451592.3 (国内实用授权)
一种资源化回收利用硅芯腐蚀废液的装置201620003647.4 (国内实用授权)
一种利用氯硅烷残液制备超细二氧化硅的装置201520573454.8 (国内实用授权)
一种氯硅烷残液生产HCl气体的装置201520573436.X (国内实用授权
一种利用氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的装置201520573342.2 (国内实用授权)